光学素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287294
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098117
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】高精度な光学素子を製造する。【解決手段】第1層の成形時に第1型14の凹形状14aによってアライメントマーク11aを基板10上に転写しておき、そのマーク形状に第2型16の凹形状16aを合わせることにより、高精度のアライメントを行う。

請求項（抜粋）：

第1の周期構造上に第2の周期構造を型成型によって形成する光学素子の製造方法であって、前記第1の周期構造が形成された基板上のアライメントマークを用いて前記第2の周期構造を成型するための型の位置合わせを行うことを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/18 , B29D 11/00

FI (2件)：

G02B 5/18 , B29D 11/00

引用特許：

出願人引用 (5件)

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