特許
J-GLOBAL ID：200903051091956020
溶融シリカガラス製品の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169834
公開番号（公開出願番号）：特開平8-208249
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1996年08月13日
要約：
【要約】【課題】 シリカ粒子または多孔性シリカボディから調製した溶融シリカの製品において、種結晶およびボイドのような内部の欠陥をなくす。【解決手段】 シリカガラス粒子から作った生のボディをチャンバー内に配置し、チャンバーをヘリウムでパージするかまたはチャンバーを真空にしながら、チャンバーの温度を1720°Cまで上昇させることにより生のボディを乾燥して焼結する。チャンバー内の温度を少なくとも1750°Cに上昇させ、約6.9 MPa未満の圧力でチャンバー中に不活性ガスを導入し、加圧した雰囲気を少なくともシリカガラスのアニール点よりも低い温度に維持しながらチャンバーを冷却することにより焼結ボディを固結する。
請求項（抜粋）：
溶融シリカガラス粒子から殆ど欠陥のない溶融シリカガラス製品を製造する方法であって、(a) 前記シリカガラス粒子から生のボディを造型し、(b) 該生のボディをチャンバー内に配置し、該チャンバーをヘリウムでパージするかまたは該チャンバーを真空にしながら、該チャンバーの温度を1720°Cまで上昇させることにより前記生のボディを乾燥して焼結し、(c) 前記チャンバー内の温度を少なくとも1750°Cに上昇させ、約6.9 MPa未満の圧力で前記チャンバー中に不活性ガスを導入し、加圧した雰囲気を少なくとも前記溶融シリカガラスのアニール点よりも低い温度に維持しながら前記チャンバーを冷却することにより前記チャンバー内のボディを固結する各工程からなることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
