特許

J-GLOBAL ID：200903051094812762

密閉容器内搬送装置

発明者： 池田 和人 ,  狩野 利一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340780
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181870
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】駆動機構から発生される塵等の汚染物質によって被搬送物が汚染されることがなく、配線等に真空対応処理等を施す必要がなく、高価なシール部材等の使用を減らすことが可能な密閉容器内搬送装置を提供する。【解決手段】密閉容器1内に収容された被搬送物支持具12と該被搬送物支持具12を駆動する駆動機構とを含んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空間と駆動機構収容空間とをべローズ21、22によって密封分離し、駆動機構収容空間内に電気配線32等を設け、被搬送物搬送空間内の圧力と駆動機構収容空間内の圧力とを個別に制御する。

請求項（抜粋）：

密閉容器内に収容された被搬送物支持具と該被搬送物支持具を駆動する駆動機構とを含んでなる密閉容器内搬送装置において、被搬送物搬送空間と駆動機構収容空間とを密封分離したことを特徴とする密閉容器内搬送装置。