特許
J-GLOBAL ID：200903051095939561
工作物を被覆するための方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-532144
公開番号（公開出願番号）：特表2000-506225
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】被覆する前にスパッタリングによってエッチングされた、特に高いストレスを有する工作物の上に硬質材料層を付着させるために、低電圧アーク放電で工作物をスパッタリングすることによってエッチングし、続いて、同じ方向から作用させることによって工作物を被覆することが提案される。
請求項（抜粋）：
排気可能な加工室(1)と、前記室に配置されたプラズマ供給源(18)と、 被覆供給源(23)と、さらに、工作物(11)を位置決めするために、または 工作物(11)に前記供給源の前を通過させるために処理区域(b)を確定す る、中に配置された保持および/または搬送装置とを備える、工作物(11) を処理するための被覆配置にあって、前記供給源は、同じ側から作用するよ うに、工作物から距離を置いて配置される配置であって、プラズマ供給源( 18)は高温陰極低電圧アーク放電配置として形成され、工作物の搬送方向を 横切るその直線状の広がり(1)は基本的に処理区域の幅(b)に対応し、 さらに、アーク放電(18)と工作物(11)との間において電圧(20)を発生 するための装置が設けられることを特徴とする、被覆配置。
IPC (4件)：
C23F 4/00
, C23C 14/02
, C23C 14/24
, H01J 37/32
C23F 4/00 A
, C23C 14/02 Z
, C23C 14/24 F
, H01J 37/32
