検査情報処理方法及びその検査システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-203055
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026102
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】製造プロセスの詳細な解析を行うために、検出欠陥点のサンプリングを定性的、かつ定量的な基準により処理すること。また、検査装置より出力される欠陥情報から詳細検査あるいは分析が必要な欠陥候補を効率良く絞り込むこと。【解決手段】検査対象物を検査して検出した欠陥を詳細に検査する方法において、検査対象物を種類の異なる複数の欠陥検出手段で検査して欠陥を検出し、該検出して得た情報を情報処理手段で種類の異なる複数の詳細検査手段に該詳細検査手段の特性に応じて選択して出力し、該選択して出力された前記検出して得た情報に基づいて前記検査対象物を詳細に検査するようにした。

請求項（抜粋）：

検査対象物を検査して検出した欠陥を詳細に検査する方法であって、検査対象物を種類の異なる複数の欠陥検出手段で検査して欠陥を検出し、該検出して得た情報を情報処理手段で種類の異なる複数の詳細検査手段に該詳細検査手段の特性に応じて選択して出力し、該選択して出力された前記検出して得た情報に基づいて前記検査対象物を詳細に検査することを特徴とする検査情報処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01N 21/956 , G01N 23/225 , G06T 1/00 305

FI (5件)：

H01L 21/66 Z , H01L 21/66 J , G01N 21/956 A , G01N 23/225 , G06T 1/00 305 A

Fターム (45件)：

2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001FA01 , 2G001GA04 , 2G001KA01 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AC02 , 2G051CB05 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051FA10 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA04 , 4M106BA14 , 4M106CA41 , 4M106CA70 , 4M106DB02 , 4M106DB05 , 4M106DB07 , 4M106DB21 , 4M106DB30 , 4M106DH01 , 4M106DJ17 , 4M106DJ20 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA03 , 5B057CH20 , 5B057DA03 , 5B057DC32

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