特許
J-GLOBAL ID：200903051107622402
半導体パターン検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129850
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311026
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 半導体パターン検出方法において、1次元イメージセンサを用いた場合においても検出した波形信号を十分に平滑化することを可能とする。【構成】 対象板面1の上面に光を照射し、この対象板面1上に形成された半導体パターンP1,P2からの反射光を光学系を介して1次元イメージセンサに結像させ、この1次元イメージセンサで半導体パターンP1,P2の波形信号を取り込むことにより半導体パターンを検出する半導体パターン検出方法において、上記対象板面1を1次元イメージセンサの長手方向(X)と直交する方向(Y)に所定の間隔でステップ送りし(A1,A2,A3,...)、各ステップ送りごとに上記1次元イメージセンサで波形信号W1,W2,W3,...を取り込み、各ステップでの波形信号を積算して平滑化処理(W′)を行うものである。これにより、1次元イメージセンサを用いた場合においても、計測した波形信号W1,W2,W3,...を十分に平滑化して平滑化波形W′を得ることができる。
請求項（抜粋）：
対象板面の上面に光を照射し、この対象板面上に形成された半導体パターンからの反射光を光学系を介して1次元イメージセンサに結像させ、この1次元イメージセンサで半導体パターンの波形信号を取り込むことにより半導体パターンを検出する半導体パターン検出方法において、上記対象板面を1次元イメージセンサの長手方向と直交する方向に所定の間隔でステップ送りし、各ステップ送りごとに上記1次元イメージセンサで波形信号を取り込み、各ステップでの波形信号を積算して平滑化処理を行うことを特徴とする半導体パターン検出方法。
IPC (2件)：
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