特許
J-GLOBAL ID：200903051109841748
被測定物の測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-368330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193428
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 クリーム半田のような被測定物を安価な構成で確実に三次元測定することが可能な被測定物の測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1からのレーザ光がラインジェネレータレンズ5によりライン光として被測定物11に投光される。ニリアアクチュエータ8により投光ユニット7を一定速度で移動させ、光切断位置にきたときレーザ光源を点灯して光切断を行い被測定物の高さ測定が行われる。被測定物の二次元測定を行うときは、レーザ光源を点灯したままライン光を走査し、被測定物をそのライン光で照明して画像を取得する。このような構成では、一回のライン光の走査で二次元形状を撮像することができ、画像解析を短時間で終了することができる。
請求項（抜粋）：
ライン光を用い光切断法に基づいて被測定物を三次元測定する被測定物の測定方法において、ライン光の光源を点灯したままライン光を走査して被測定物の二次元形状を測定し、ライン光の光源を間欠的に点灯しながらライン光を走査して被測定物の高さ位置を測定することを特徴とする被測定物の測定方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/02
, G06T 7/00
, H05K 3/34 512
G01B 11/24 A
, G01B 11/02 H
, H05K 3/34 512 B
, G06F 15/62 415
