特許
J-GLOBAL ID：200903051110003462
シート類検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269912
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103886
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 試料面を走査しながら透過光を測定するシート状材料の検査方法を用いた測定装置の小型化を計る。【構成】 試料載置台を光反射面とし、投光手段と受光手段を有する一つの測定ヘッドを試料載置台の上方で試料面を走査するように移動させる。【作用】 試料の片側だけで試料透過光を測定できるので、試料の両側に走査装置を配置するより走査機構が簡単小型になる。
請求項（抜粋）：
試料に光を照射する手段と試料からの反射光を受光する手段とによって一つの測定ヘッドを構成し、この測定ヘッドを移動手段に保持させたことを特徴とするシート類検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/21
, G01B 11/30
, G01N 21/88
