特許
J-GLOBAL ID：200903051112542581
異物検査装置及びそれを用いた異物検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094917
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257718
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 異物が複数に分割された検査面の領域の境界上もしくはその近傍に存在している場合でも、1つの異物が複数の隣接した領域に複数個存在しているように表示されることを防止し、異物の有無状態を2次元的な位置座標として高精度に表示することができる異物検査方法及び装置、更にそれを用いた製造方法を提供すること。【解決手段】 光源手段からの光束を検査面上に導光し、該検査面上の異物から生ずる散乱光を検出手段で検出する異物検査装置において、該検出手段の信号から該検査面上の2次元的な位置座標毎に異物の有無状態を信号処理手段で処理する際、該信号処理手段は該検査面上の異物からの散乱光に基づいて該検出手段で得られる出力値のうち連続して出力が検出されている領域において最大値を与える位置座標を求めて記憶手段に記憶し、該最大値を与える位置座標近傍の周辺位置座標に相当する信号を調整して出力することを特徴とする異物検査装置。
請求項（抜粋）：
光源手段からの光束を検査面上に導光し、該検査面上の異物から生ずる光を検出手段で検出し、該検出手段の信号を該検査面上の位置座標毎に信号処理手段で処理する異物検査装置において、該信号処理手段は該検出手段で得られる出力値のうち連続して出力が検出されている領域において最大値を与える位置座標を求め、該最大値を与える位置座標近傍の周辺位置座標に相当する信号を調整して出力することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, H01L 21/66 J
