特許

J-GLOBAL ID：200903051112922937

ケイ素系アルカリ可溶性樹脂

発明者： 小室 勝彦 ,  鈴木 浩
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-328783
公開番号（公開出願番号）：特開2004-161867
出願日： 2002年11月12日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】下記一般式(1)で表される有機ケイ素化合物単独の縮合速度が遅い点を克服すると共に、アルカリ可溶性基を含むクロロシラン類を用いて合成される従来の樹脂の問題点を解消したケイ素系アルカリ可溶性樹脂を提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表される有機ケイ素化合物(1)と下記一般式(2)で表される有機ケイ素化合物2とを加水分解共縮合してなるケイ素系アルカリ可溶性樹脂。【化1】(式中、R1は、炭素数1から3のアルキル基を示す)【化2】(式中、R2は、炭素数1から3のアルキル基を示す)【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される有機ケイ素化合物(1)と下記一般式(2)で表される有機ケイ素化合物(2)とを加水分解共縮合してなるケイ素系アルカリ可溶性樹脂。

IPC (4件)：

C08G77/14 ,  G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

FI (4件)：

C08G77/14 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/075 511 ,  H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H025AA00 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB33 ,  4J035BA14 ,  4J035CA10N ,  4J035CA101 ,  4J035EA01 ,  4J035EB02 ,  4J035LA03 ,  4J035LB16