特許

J-GLOBAL ID：200903051113229240

基板表面の走査方法および装置

発明者： ベルタン-ムロ,トマ ,  ドウーシユ,ジヤン-ピエール ,  ジエルモン,ダニエル ,  グラン,ポール-アンリ ,  シユレル,イブ
出願人/特許権者： サン-ゴバン グラス フランス
代理人 (5件)： 川口 義雄 ,  一入 章夫 ,  小野 誠 ,  大崎 勝真 ,  坪倉 道明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-544607
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514882
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

本発明は、基板2の表面を走査する方法に関し、その方法は、前記表面上の少なくとも1つのターゲット1の反射画像を提供し、2方向に沿って局所位相をデジタル処理して抽出することにある。本発明は、局所位相に基づくデジタル処理によって局所勾配変動を計算し、その結果から、前記表面の曲率変動または高さ変動を導出することにあることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板(2)表面の走査方法であって、前記表面上で少なくとも1つのテストパターン(1)の少なくとも1つの反射画像を取得し、かつ、2方向の局所位相をデジタル処理によって抽出し、前記局所位相からデジタル処理によって局所勾配変動を計算し、その結果から、前記表面の曲率変動または高さ変動を導出することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G01B11/25 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01N21/896

FI (4件)：

G01B11/24 E ,  G01B11/30 Z ,  G01N21/896 ,  G01B11/24 K

Fターム (40件)：

2F065AA24 ,  2F065AA46 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB22 ,  2F065CC11 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG08 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR05 ,  2G051AA42 ,  2G051AA85 ,  2G051AB07 ,  2G051AB10 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平4-502506
  
• 光学品質を決定する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-178133   出願人：フォード・モーター・カンパニー