特許

J-GLOBAL ID：200903051116330171

ワーク用バキュームチャック装置

発明者： 箱 守 駿 二 ,  古 澤 四 郎
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092364
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274280
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 ワークとチャック面との間の隙間を通じて該チャック面の外周部分から研磨材スラリーが吸着孔に吸引されるのを防止する。【解決手段】 ワークWをバキュームチャックするための吸着孔6を備えたチャックヘッド3のチャック面3aに、上記吸着孔6の外周を取り囲むように、該吸着孔6とチャック面3aの外周との間を遮断する遮断用液体を充填するための環状のバリヤ溝7を形成する。

請求項（抜粋）：

ワークをバキュームチャックするための吸着孔を備えたチャックヘッドのワークチャック面に、上記吸着孔の外周を取り囲むように、該吸着孔とチャック面外周との間を遮断する遮断用液体を充填するための環状のバリヤ溝を形成したことを特徴とするワーク用バキュームチャック装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-141670
  
• 特開昭63-141670