特許

J-GLOBAL ID：200903051116389788

試料冷却ホルダー

発明者： 根本 武夫 ,  佐保 典英 ,  小林 弘幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056625
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251819
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、電子顕微鏡の試料冷却ホルダーの液体ヘリウム等の寒剤の消費量をできるだけ少なくすることにある。【解決手段】試料台または熱交換器に寒剤を供給吐出する流通管に入る伝導熱と輻射熱を低減するために、寒剤供給吐出管を二重管で構成し、低温の供給管を内側、高温の吐出管を外側に配設して、この外側の吐出管と熱シールド間をつないで支持する。

請求項（抜粋）：

寒剤を注入する寒剤容器1と、該寒剤容器1から前記寒剤を供給する寒剤流通管4aによって冷却される熱交換器5と熱的に連結された試料台8と、該熱交換器5から前記寒剤を排出する寒剤流通管4bを有し、また、前記寒剤容器1の外周に輻射熱を遮蔽する熱シールド2が寒剤流通管4と熱的に連結された試料冷却ホルダーにおいて、前記熱交換器5から寒剤を吐出する寒剤流通管4bの一部が寒剤を前記熱交換器5に供給する寒剤流通管4aの外周に、同心状または偏心状に設け、さらに該寒剤流通管4bを前記熱シールド2と連結したことを特徴とする試料冷却ホルダー。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (4件)：

H01J 37/20 E ,  G01N 1/28 K ,  G01N 1/28 F ,  G01N 1/28 W

Fターム (3件)：

5C001AA01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC01