特許
J-GLOBAL ID：200903051121131055
照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-021495
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215922
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 極紫外線を用いた半導体露光装置の照明系において、均一な輝度分布を持った二次光源を得る。【構成】 光源発生装置1と多数回反射してオプティカルインテグレータの役目をする光導波管4と、光導波管4に光を入射させるための集光レンズ3と、被照射面7に設置されマスクを照明するための集光レンズ6より構成された半導体露光装置の照明光学装置である。オプティカルインテグレータを中空の光導波管で実現することによりガラスによる紫外光の吸収をなくすることができる。
請求項（抜粋）：
光束を供給する光源と、前記光束の光強度分布を均一にするための第1の光学素子と、前記第1の光学素子に光束を集光して入射させる集光素子と、被照射物体を照明する第2の光学素子を有する照明光学装置において、前記第1の光学素子が、入射端面形状に比べて十分に長い導波路を有する中空の光導波管で構成されていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (4件)：
G02B 6/00 331
, G02B 6/00 301
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
