特許

J-GLOBAL ID：200903051127503671

走査型電子顕微鏡と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダー及び透過型電子顕微鏡用の試料作製方法

発明者： 杉山 昌章 ,  岡田 守弘
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-185375
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007241
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】【課題】 共用試料ホルダーと透過型電子顕微鏡用の試料作製方法を提供する。【解決手段】 走査型電子顕微鏡装置と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダーは、電子線後方散乱パターン計測機能を有した走査型電子顕微鏡装置と、マイクロサンプリング機能を装備した集束イオンビーム装置とに装着可能で、試料の載せ替え作業をせずに結晶方位解析とマイクロサンプリング加工が可能であることを特徴とする。また、試料作製方法は、上記共用試料ホルダーを用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子線後方散乱パターン計測機能を有した走査型電子顕微鏡装置と、マイクロサンプリング機能を装備した集束イオンビーム装置とに装着可能で、試料の載せ替え作業をせずに電子線後方散乱パターン計測機能による結晶方位解析とマイクロサンプリング加工とが可能であることを特徴とする走査型電子顕微鏡と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダー。

IPC (5件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/317

FI (5件)：

H01J 37/20 A ,  G01N 1/00 101 D ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/317 D ,  G01N 1/28 F

Fターム (21件)：

2G052AA12 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052BA11 ,  2G052BA16 ,  2G052CA46 ,  2G052DA33 ,  2G052EC16 ,  2G052GA34 ,  2G052GA35 ,  5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C033UU03 ,  5C034AA02 ,  5C034AB04