特許
J-GLOBAL ID:200903051133312330

オーミック電極

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉浦 正知
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-021983
公開番号(公開出願番号):特開平6-216367
出願日: 1993年01月14日
公開日(公表日): 1994年08月05日
要約:
【要約】【目的】 半導体に対する接触抵抗と密着性との両方に優れたオーミック電極を実現する。【構成】 それぞれ半導体1に接触する接触抵抗の低いオーミック電極材料から成る第1の電極部2aと密着性の良好なオーミック電極材料から成る第2の電極部2bとによりオーミック電極2を形成する。
請求項(抜粋):
それぞれ半導体に接触する第1の材料から成る第1の電極部と第2の材料から成る第2の電極部とを有し、上記第1の材料の上記半導体に対する接触抵抗は上記第2の材料の上記半導体に対する接触抵抗よりも低く、上記第2の材料の上記半導体に対する密着性は上記第1の材料の上記半導体に対する密着性よりも良好であることを特徴とするオーミック電極。
IPC (2件):
H01L 29/46 ,  H01S 3/18
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)
  • 特開昭57-028359

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