リニアモータおよびステージ装置並びに露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-099333
公開番号（公開出願番号）：特開2003-299339
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】冷却媒体の流路を形成する部材が一端側で締結固定された場合でも、表面温度の分布を均一にする。【解決手段】相対移動する2つの部材の一方34aに設けられたコイル体63と、コイル体63の周囲を囲む包囲部材65と、包囲部材65とコイル体63との間に形成され温度調整用媒体が流動する流路66とを備える。流路66は包囲部材65の温度分布に基づいて断面形状が決定される。

請求項（抜粋）：

相対移動する2つの部材の一方に設けられたコイル体と、該コイル体の周囲を囲む包囲部材と、前記包囲部材と前記コイル体との間に形成され温度調整用媒体が流動する流路とを備えたリニアモータにおいて、前記流路は、前記包囲部材の温度分布に基づいて断面形状が決定されることを特徴とするリニアモータ。

IPC (7件)：

H02K 41/02 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , H02K 9/19 , H02K 41/03

FI (8件)：

H02K 41/02 Z , H02K 41/02 A , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H , H01L 21/68 K , H02K 9/19 B , H02K 41/03 A , H01L 21/30 503 A

Fターム (42件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA01 , 5F031HA53 , 5F031JA06 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031LA03 , 5F031LA04 , 5F031LA07 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046AA23 , 5F046BA05 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC03 , 5F046CC18 , 5F046DA26 , 5H609BB08 , 5H609BB11 , 5H609PP02 , 5H609PP09 , 5H609QQ05 , 5H609QQ10 , 5H609RR31 , 5H641BB06 , 5H641BB15 , 5H641BB16 , 5H641BB17 , 5H641BB18 , 5H641GG03 , 5H641GG07 , 5H641GG11 , 5H641GG12 , 5H641GG26 , 5H641GG29 , 5H641HH02 , 5H641JA05 , 5H641JA09 , 5H641JB05 , 5H641JB10

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