特許
J-GLOBAL ID:200903051149536204
照射装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-121157
公開番号(公開出願番号):特開2001-305298
出願日: 2000年04月21日
公開日(公表日): 2001年10月31日
要約:
【要約】【課題】良質な陽子ヒ ゙ームをターケ ゙ット部に入射すると共にメンテナンスを容易に行うこと。【解決手段】管内が管外よりも低圧に保たれ、管内部に沿って荷電粒子を輸送する荷電粒子輸送管1と、荷電粒子輸送管1における荷電粒子Pの輸送方向の下流端を栓するとともに、荷電粒子Pを透過させることが可能な第1透過窓2と、第1透過窓2の下流側に接続され、荷電粒子輸送管1の延長方向に沿って伸縮可能な伸縮継手3と、伸縮継手3の下流側に接続され、荷電粒子輸送管1の延長方向に沿って配置されたターケ ゙ット部7と、ターケ ゙ット部7に収納され、荷電粒子輸送管1側から輸送される荷電粒子Pを透過させることが可能な第2透過窓8と、ターケ ゙ット部7に収納され、第2透過窓8を透過した荷電粒子Pによって照射される被照射材を含んだ照射部9と、第2透過窓8をターケ ゙ット部7の内部に固定して、荷電粒子輸送管1側と照射部9側とをシールするシール部6とを備える。
請求項(抜粋):
管内部が管外部よりも低圧に保たれ、前記管内部に沿って荷電粒子を輸送する荷電粒子輸送管と、前記荷電粒子輸送管における荷電粒子輸送方向の下流端を栓するとともに、前記管内部を輸送される荷電粒子を透過させることが可能な第1の荷電粒子透過窓と、前記第1の荷電粒子透過窓の前記荷電粒子輸送方向の下流側に接続され、前記荷電粒子輸送管の延長方向に沿って伸縮可能な伸縮継手と、前記伸縮継手の前記荷電粒子輸送方向の下流側に接続され、前記荷電粒子輸送管の延長方向に沿って配置されたターゲット部と、前記ターゲット部に収納され、前記荷電粒子輸送管側から輸送される荷電粒子を透過させることが可能な第2の荷電粒子透過窓と、前記ターゲット部に収納され、前記第2の荷電粒子透過窓を透過した荷電粒子によって照射される被照射材を含んだ照射部と、前記第2の荷電粒子透過窓を前記ターゲット部の内部に固定して、前記荷電粒子輸送管側と前記照射部側とをシールするシール部とを備えたことを特徴とする照射装置。
IPC (7件):
G21K 5/02
, G21F 9/00
, G21K 5/00
, G21K 5/04
, G21K 5/08
, H05H 3/06
, H05H 6/00
FI (8件):
G21K 5/02 N
, G21F 9/00 N
, G21K 5/00 W
, G21K 5/00 E
, G21K 5/04 A
, G21K 5/08 N
, H05H 3/06
, H05H 6/00
Fターム (8件):
2G085BA17
, 2G085BD02
, 2G085BD04
, 2G085BE02
, 2G085BE04
, 2G085BE08
, 2G085EA01
, 2G085EA06
引用特許:
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