特許

J-GLOBAL ID：200903051165054732

複合型顕微鏡

発明者： 小貫 哲治 ,  鈴木 正敏 ,  松代 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-199465
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040034
出願日： 1991年08月08日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】AFMの測定試料を、光学顕微鏡で観察可能な複合型顕微鏡を提供する。【構成】対物レンズと観察光学系を有する光学顕微鏡と、反射面を有し、原子間力を検出する原子間力レバーと、該原子間力レバーに対しスポット光を照射するための照射光学系と、原子間力レバーの変位による反射光の変位を検出するディテクタと、試料を載置するための試料台とを備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

対物レンズと観察光学系を有する光学顕微鏡と、反射面を有し、原子間力を検出する原子間力レバーと、該原子間力レバーに対しスポット光を照射するための照射光学系と、原子間力レバーの変位による反射光の変位を検出するディテクタと、試料を載置するための試料台とを備えることを特徴とする複合型顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28