特許

J-GLOBAL ID：200903051171249804

ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358860
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184662
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】 磁場の乱れが少なく、テーブルを多自由度に駆動でき、位置制御精度を向上できるステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ部10は、下方から順に、リニアモータによりY軸方向に駆動される下ステージ11、ピエゾアクチュエータ15によりθZ方向に回動可能な四角枠13、リニアモータによりX軸方向に駆動される上ステージ17、ピエゾアクチュエータ25a、25b、25cによりθX、θY、Z方向に駆動する三角テーブル23で構成されている。三角テーブル23の上部には、ウェハを載置するウェハテーブル27が固定される。これにより、ステージ装置1を6自由度に駆動できる。

請求項（抜粋）：

ある平面(XY平面)内で移動・位置決めされるXYステージと、該ステージ上に搭載され、θZ方向(Z軸周り)に駆動される第1テーブルと、該第1テーブル上に搭載され、θX方向(X軸周り)、θY方向(Y軸周り)及びZ方向に駆動される第2テーブルと、を具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (27件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB08 ,  2F078CB12 ,  2F078CB14 ,  2H097CA16 ,  2H097DB20 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031LA04 ,  5F031LA06 ,  5F031LA10 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F056AA22 ,  5F056EA14 ,  5F056FA07