特許
J-GLOBAL ID：200903051171625962
電磁駆動型角速度センサ及びその製造方法
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069015
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264730
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成により、角速度が高精度で検出され得るようにした、電磁駆動型角速度センサを提供する。【解決手段】 ガラス基板11と、このガラス基板の表面に配設した振動子20と、ガラス基板の裏面に取り付けた永久磁石12とにより三層構造に構成し、振動子20が、各辺が四方からそれぞれ二本の支持ビーム22により中空に支持されるように形成したほぼ四角形の振動子の重り21と、各辺にて互いに隣接する二本の支持ビーム間を連結するように振動子の重り21の表面に形成した金属配線21aとを備えており、各支持ビームが、それぞれ振動子の各辺から垂直に延びる部分と、その先端から直角に屈曲して延びる部分を備えるようにL字形に形成されている。
請求項（抜粋）：
電極配線を形成した対称性を有する重りと、この重りを対称的位置にて弾性的に支持する複数の支持ビームとを有する振動子と、上記重りに均一な磁界を作用する磁石と、上記振動子を上面側に有し、上記磁石を下面側に有する基板とを備え、上記一の支持ビームが、この上面に形成した電気配線と上記重りの電極配線とを一電気回路に形成した駆動振動用の支持ビームであり、上記他の支持ビームが、この上面に形成した電気配線と上記重りの電極配線とを一電気回路に形成した検出振動用の支持ビームであり、上記駆動振動用の支持ビームに電流を流すことにより上記振動子の重りにローレンツ力が作用して振動し、角速度の印加によりコリオリ力が作用して上記振動子の重りが上記ローレンツ力による振動方向と直角方向に振動して発生する誘導起電力を上記検出振動用の支持ビームの両端で検出して角速度を検出する、電磁駆動型角速度センサ。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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力学量センサ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平4-274530 出願人：日本電装株式会社 -
慣性センサー
公報種別：公開公報 出願番号：特願平4-049519 出願人：株式会社東芝 -
角速度センサの自己診断方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平8-045035 出願人：日産自動車株式会社
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