磁歪素子を用いた圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028219
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194244
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】本発明は磁歪素子を用いて流体の圧力を検出する圧力センサに関し、信頼性の向上を図ると共に、圧力調整用アクチュエータを一体化してシステムの簡単化を可能とすることを目的とする。【構成】ハウジング2の内部に磁歪素子3を配設すると共に、ハウジング2の内部空間2bと圧力制御室11及びリザーブタンク16との連通を図る流体通路10,13,15を設ける。さらに、空間2bと、磁歪素子11の配設される空間2aとを分離しつつ磁歪素子3に連結し、かつ、ハウジング2内を摺動可能となるようにピストン5を設ける。また、磁歪素子3の長手方向の磁化状態を検出するホール素子20と、ピストン5が摺動可能な方向と同一方向の磁界を磁歪素子3に印加する磁界印加用コイル22を設ける。

請求項（抜粋）：

流体室あるいは流体路との連通を図る連通口を有するハウジングと、該ハウジング内に配設される磁歪素子と、前記ハウジング内の空間を前記連通口を備える側と前記磁歪素子の配設される側とに分離しつつ前記磁歪素子に接触するように、かつ、前記ハウジング内を摺動可能となるように配設されるピストンと、前記磁歪素子の磁化状態を検出する磁化状態検出手段とからなることを特徴とする磁歪素子を用いた圧力センサ。

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