特許

J-GLOBAL ID：200903051180214762

感放射線性樹脂組成物

発明者： 田辺 隆喜 ,  小林 英一 ,  志水 誠 ,  岩永 伸一郎
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316888
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142800
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 解像度、パターン形状、PEDに対する耐性、プロセス安定性等が優れるとともに、定在波の影響が少なく、かつ高度の耐熱性を有する化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する構造を有する繰返し単位(I)と、分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(II) とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶性となる共重合体、および(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する構造を有する繰返し単位(I)と、分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(II) とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶性となる共重合体、および(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感光性組成物及び画像形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-049012   出願人：コニカ株式会社
• 特開平3-241355