研磨用組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-103059
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313164
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】タングステン等の金属材料にも適用可能で金属材料の研磨速度を高め、かつ表面欠陥を生じさせない研磨用組成物であり、かつ上述のシリコン基板上に形成された各種の配線金属パタ-ンの平坦化に用いられ得る優れた研磨用組成物を提供することを目的とする。【構成】水性コロイダルシリカゾル又はゲルの研磨剤と過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウムから選ばれた1種である過硫酸塩又は過硫酸塩の1種と過酸化水素の研磨促進剤からなる研磨用組成物である。

請求項（抜粋）：