特許

J-GLOBAL ID：200903051186787470

静電チャック

発明者： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社ミヤタアールアンディ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-354545
公開番号（公開出願番号）：特開平9-172057
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 電熱ヒーターの機能を備えた静電チャックにかかわり、さらに詳しくは、予備加熱して使用する静電チャックあるいは数百度の温度で使用する静電チャックの構造にかかわる。【解決方法】 誘電体セラミックの背面に形成された静電誘導電極の背面に絶縁セラミック層が一体的に接合され、該絶縁セラミック層の背面に電熱ヒーター回路が一体的に形成されてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

誘電体セラミックの背面に電熱ヒーターの回路模様形状の静電誘導電極が形成され、該電極がヒーター加熱と静電誘導の両方に共用されてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (5件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B