特許
J-GLOBAL ID：200903051187422735
光を透過するパターンの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049134
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258183
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】光を透過するパターンを有する半透明板状物に対して光を照射してそのパターンのむらを検査するに際して撮影系に起因するむらがある場合にもこの撮影系のむらが判定結果に影響しない検査方法を提供すること。【構成】シャドウマスク等1を1軸移動テーブル2上に載置し、光源3から光線を照射して多数のパターンを含む領域を透過した光線の光量を、1軸移動テーブル2を移動させて領域毎に測定する。そして、CPU6により隣接する二領域の透過量データの差を算出し、この差を許容誤差範囲と比較する。隣接する二領域のデータの差を求めているため、撮影系に起因するむらは相殺される。
請求項（抜粋）：
略同一形状の多数の光を透過するパターンを備える半透明板状物の一領域に光線を照射しその透過量を測定する工程を、上記半透明板状物の略全面について繰り返すことにより、上記パターンのむらの有無を検査する方法において、上記一領域の透過量を測定し、次いで上記半透明板状物を移動させて上記一領域に隣接する領域の透過量を測定し、この二つの領域の透過量の差を求めて上記パターンのむらを検出することを特徴とする光を透過するパターンの検査方法。
引用特許：
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