特許
J-GLOBAL ID：200903051194060873
電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252748
公開番号（公開出願番号）：特開平9-098052
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、水晶振動子やSAWデバイスなどの電子部品に関するものであって、周波数の調整量が小さくても、調整用材料が強固に下地のベース電極に密着し、後の洗浄工程等においても剥がれ落ちることが少なく、目的周波数に調整する。【構成】 圧電性基板の表面にベース電極を設け、このベース電極上に周波数調整膜を構成した電子部品において、周波数調整膜の形成領域をベース電極の形成領域より小さい領域に制限することによって、周波数の調整量が少ないときでも、膜厚を厚くすることができ、下地としてのベース電極に強固に密着する調整膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
圧電性基板の表面にベース電極を設け、このベース電極上に周波数調整用膜を構成した電子部品であって、上記周波数調整用膜は上記ベース電極の形成領域より小さい領域に設けられ、同質量とするときに膜厚が大きくなる様に領域を制限して形成した電子部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/19 A
, H03H 9/02 M
