特許

J-GLOBAL ID：200903051195703816

差圧変換器

発明者： アラン・ジェームズ・ヤコブス-クック
出願人/特許権者： ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190873
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ダイヤフラム間に跨がるブリッジの使用してブリッジの振動数が圧力差の関数である単純で堅牢な差圧センサを提供する。【構成】 第一及び第二のダイヤフラム16、18を単結晶シリコン等の材料ブロック内に形成した、差圧変換器が提供されている。各ダイヤフラムは、ブリッジ用の支持部20、22を有する。各支持部20、22は、ダイヤフラムの偏位によりそれぞれの支持部がある程度の横方向動作をするように、ダイヤフラムの中心からずれている。ブリッジ24は、排気されたキャビティ36内に保持され、ブリッジ24の共振振動数は、ダイヤフラムの圧力作用の差の関数である。

請求項（抜粋）：

第一及び第二のダイヤフラム(16、18)を有する差圧変換器であって、前記第一のダイヤフラム(16)の偏位に応じて移動可能な第一の支持部(20)により第一の位置で支持されると共に前記第二のダイヤフラム(18)の偏位に応じて移動可能な第二の支持部(22)により第二の位置で支持されるブリッジ(24)であって、該ブリッジ(24)に作用する力従って該ブリッジの共振振動数が、前記第一及び第二のダイヤフラムの偏位の差の関数であるように構成されたブリッジ(24)、を備えたことを特徴とする差圧変換器。

IPC (3件)：

G01L 13/00 ,  G01L 9/00 ,  G02B 6/42