特許
J-GLOBAL ID:200903051207936927

光源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-124154
公開番号(公開出願番号):特開平10-311962
出願日: 1997年05月14日
公開日(公表日): 1998年11月24日
要約:
【要約】【課題】 発光源からの光束を効率よく収束できる光利用効率の高い光源装置を提供する。【解決手段】 発光源1は、その中心が放物面ミラー2の焦点Fと一致するように配置され、球面ミラー3は、その球心が発光源1の中心と一致するように配置される。発光源1より発した光束のうち、放物面ミラー2に到達した光束は、そこで反射して光軸5とほぼ平行な光線L11〜L14, L16となり、前方の光学系へ進む。一方、放物面ミラー2の開口2aに向かって進む光束は、球面ミラー3で反射し、同じ光路をたどって再び発光源1に戻り、発光源1内部にあるプラズマ中に入射する。この光線束はプラズマの影響で長波長側に遷移したスペクトラムを持つ光線束となって、主に放物面ミラー2の方向に進み、放物面ミラー2によって反射されて光軸5とほぼ平行な光線L31, L32となって、前方の光学系に進む。
請求項(抜粋):
周囲に光を放射する発光源と、前記発光源を囲むようにしつつ一部に開口を残して配設され、前記発光源から放射された光を反射して前記開口の方向に集光する集光ミラーと、前記集光ミラーの開口内に設けられ、前記発光源から前記集光ミラーの開口に直接向かう光を反射して再び前記発光源に戻す帰還ミラーとを備えたことを特徴とする光源装置。
IPC (5件):
G02B 27/00 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 530 ,  G03B 21/00 ,  G03B 21/14
FI (5件):
G02B 27/00 V ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 530 ,  G03B 21/00 D ,  G03B 21/14 A

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