特許
J-GLOBAL ID：200903051217691183
自動研磨加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306333
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156066
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：
【要約】【目的】 安価で高精度の自動研磨加工装置を得る。【構成】 遊離砥粒を用いた研磨方式において、被加工物9の研磨量を研磨量検出装置(レーザ測長器)11、12、13、15で測定し、安価であるがS/N比の高い信号処理回路を備えた。受光器12の電圧出力に含まれる研磨治具の上下動などの定常的なノイズ成分を積分回路を含む上記信号処理回路を用いて除去し、研磨量に相当する信号電圧のみを出力して、マイコンにより目標の研磨量に達した際に研磨を終了させる。また、前回の研磨寸法値と出力電圧変化値を比較し、当回の相関比例定数に校正をかける機能を有する。さらに、研磨量がある設定値以上に急激に変動した場合、異常と関知して研磨を停止させる安全装置機能を有する。
請求項（抜粋）：
回転する円盤状定盤と、その上面に摺接して回転する被加工物を固定した治具とを有し、前記被加工物を研磨する研磨手段、レーザ光を前記治具の反摺接側に当てて前記治具までの距離を測定するレーザ測長手段、このレーザ測長手段の出力からノイズを除去する信号処理手段、及び前記信号処理手段の出力データに基づいて研磨量を求めて目標値に達したときには研磨を終了する研磨量制御手段を備えたことを特徴とする自動研磨加工装置。
IPC (3件)：
B24B 49/12
, B24B 49/04
, G11B 5/127
