特許

J-GLOBAL ID：200903051220797324

感光性樹脂組成物

発明者： 朝長 透 ,  大西 龍也 ,  奥野山 輝
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156489
公開番号（公開出願番号）：特開平8-006249
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【構成】 本発明は、(A)次の一般式で示されるポリアミック酸溶液、(B)m-ヒドロキシ安息香酸-2-ジメチルアミノエチルエステルのような活性化された芳香族環及び3級アミノ基を含む化合物、(C)トリフェニルスルフォニウムトリフルオロメタンスルフォン酸塩のような光分解性プロトン発生剤および(D)1,4-ビス(アセトキシメチル)ベンゼンのような多官能潜在親電子剤を必須成分とする感光性樹脂組成物である。【効果】 本発明の感光性樹脂組成物は、感光性、解像性に優れたものであり、特にプリント配線板の絶縁層やIC、LSI等の保護膜や層間絶縁膜、液晶の配向膜等として好適なものである。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示されるポリアミック酸溶液、【化1】(但し、式中、R1 は 4価の有機酸残基を、R2 は 2価のジアミン残基を、n は1 以上の整数をそれぞれ表す)(B)活性化された芳香環及び3級アミノ基を有する化合物、(C)光分解性プロトン発生剤および(D)多官能潜在性親電子剤を必須成分としてなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46