特許

J-GLOBAL ID：200903051227745222

基板ホルダ冷却機

発明者： 竹田 智彦
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216025
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036877
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 基板ホルダを極めて短時間でしかも均一に冷却する。【構成】 容器1内に、基板ホルダ2の両面に対向して一対の冷却板14を設置し、該各冷却板14に冷却水供給・排出系24を設けてなる。

請求項（抜粋）：

大気圧及び1気圧以下の圧力に保持可能な容器(1)と、該容器(1)に冷却窒素ガスもしくは冷却不活性ガスを供給する冷却ガス供給系(21)と、該冷却ガスにより冷却される基板ホルダ(2)を該容器(1)内に搬入する基板ホルダ搬送系(4)と、該容器(1)内の気体を排気する排気系(22)とよりなる基板ホルダ冷却機において、該容器(1)内に、基板ホルダ(2)の両面に対向して設置された一対の冷却板(14)と、該各冷却板(14)に設けられ冷却水を供給・排出する冷却水供給・排出系(24)とよりなることを特徴とする基板ホルダ冷却機。