特許

J-GLOBAL ID：200903051227998503

試料容器および軟X線顕微法

発明者： 永井 宏明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-318418
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174898
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 可視顕微鏡では観察し難い試料を観察する場合であっても、可視光を用いて合焦位置を推定し得るようにした軟X線顕微鏡用の試料容器を提供する。【構成】 一対の窓枠材1、2の顕微鏡窓部1a、1bを覆うように第1の薄膜7および第2の薄膜8を設けて窓材を構成し、該窓材をスペーサ3を介して所定距離離間させるように対向配置して前記薄膜7、8およびスペーサ3により形成される閉空間を試料室5とし、第1の薄膜7、第2の薄膜8に夫々、可視光で検出可能な識別構造9、10を設ける。この試料容器を軟X線顕微鏡に装着し、識別構造9、10に可視光で焦点を合わせたときの合焦情報を夫々求め、得られた2つの合焦情報に基づいて試料容器内に収容した試料6に焦点を合わせる。

請求項（抜粋）：

一対の窓枠材に第1、第2の薄膜を設けて窓材を構成し、該窓材をスペーサを介して所定距離離間させるように対向配置して前記薄膜およびスペーサにより形成される閉空間を試料室とした試料容器において、前記第1、第2の薄膜に夫々、可視光で検出可能な識別構造を設けたことを特徴とする試料容器。