特許

J-GLOBAL ID：200903051230051835

容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ並びにその製作方法

発明者： ウェイ-チャン・ティアン ,  ロウエル・スコット・トーマス ,  チン-ユ・ウェイ ,  ロバート・ギデオン・ウォッドニッキ ,  レイエッット・アン・フィッシャー ,  デイビッド・マーティン・ミルズ ,  スタンリー・チェンウー・チュウ ,  ヒョン-ジン・クォン
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (4件)： 松本 研一 ,  小倉 博 ,  黒川 俊久 ,  荒川 聡志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-020250
公開番号（公開出願番号）：特開2007-215177
出願日： 2007年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：

【課題】設計の柔軟性及び製作コスト低減が得られるcMUTセルの製作方法を提供する。【解決手段】容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ・セルを製作する方法を提供する。本方法は、ガラスを含む担体サブストレート(10)を提供する工程を含む。ガラス・サブストレートを提供するこの工程は、ガラス・サブストレート内にバイア穴(171)を形成する工程を含むことがある。本方法はさらに、隔壁(14)を提供する工程であって、この担体サブストレート(10)または隔壁(14)のうちの少なくとも1つがキャビティ深度を規定するように構成させた支持支柱(12)を備えるような隔壁提供工程を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

容量性マイクロマシン加工超音波トランスジューサ・セルを製作する方法であって、 ガラスを含む担体サブストレート(10)を提供する工程と、 隔壁(14)を提供する工程であって、前記担体サブストレート(10)または該隔壁(14)のうちの少なくとも一方がキャビティ深度を規定するように構成された支持支柱(12)を備えるような提供工程と、 前記支持支柱(12)を用いて前記隔壁(14)を前記担体サブストレート(10)に結合させる工程であって、該担体サブストレート(10)、該隔壁(14)及び該支持支柱(12)によって1つの音響キャビティが規定される結合工程と、 を含む方法。

IPC (6件)：

H04R 31/00 ,  H04R 19/00 ,  B81C 3/00 ,  B81B 3/00 ,  G01S 7/521 ,  A61B 8/00

FI (6件)：

H04R31/00 330 ,  H04R19/00 330 ,  B81C3/00 ,  B81B3/00 ,  G01S7/52 A ,  A61B8/00

Fターム (14件)：

4C601EE03 ,  4C601EE13 ,  4C601GB02 ,  4C601GB14 ,  4C601GB41 ,  4C601GB46 ,  5D019DD01 ,  5D019FF01 ,  5J083AB17 ,  5J083AC18 ,  5J083AC31 ,  5J083CA01 ,  5J083CB14 ,  5J083CB30

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第5982709号
  
• 米国特許第5894452号
  
• 米国特許第5870351号