特許

J-GLOBAL ID：200903051231446345

反射防止膜、光学素子及び光学系

発明者： 村田 剛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 長濱 範明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-170325
公開番号（公開出願番号）：特開2009-008901
出願日： 2007年06月28日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：

【課題】広い波長範囲において十分に高度な反射防止性能を発揮することが可能な反射防止膜を提供すること。【解決手段】光学基板と媒質との界面における光線の反射を低減させるために該光学基板の光学面上に形成された反射防止膜であって、 隣接する層同士の屈折率が異なるようにして8層以上の層が積層されてなり、前記媒質と接する最表層の屈折率n1が設計中心波長λ0において1.30以下であり、且つ、波長範囲がλ0±120nmの範囲にある入射光に対する反射率Rが、光線入射角0〜10度の範囲において0.1%以下であることを特徴とする反射防止膜。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

光学基板と媒質との界面における光線の反射を低減させるために該光学基板の光学面上に形成された反射防止膜であって、 隣接する層同士の屈折率が異なるようにして8層以上の層が積層されてなり、前記媒質と接する最表層の屈折率n1が設計中心波長λ0において1.30以下であり、且つ、波長範囲がλ0±120nmの範囲にある入射光に対する反射率Rが、光線入射角0〜10度の範囲において0.1%以下であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02

FI (2件)：

G02B1/10 A ,  B32B7/02 103

Fターム (39件)：

2K009AA09 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  4F100AA05B ,  4F100AA05C ,  4F100AA05D ,  4F100AA05E ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA20D ,  4F100AA20E ,  4F100AR00B ,  4F100AR00C ,  4F100AR00D ,  4F100AR00E ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100GB90 ,  4F100JN06B ,  4F100JN06C ,  4F100JN06D ,  4F100JN06E ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4F100YY00E ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA05 ,  4K029DA03 ,  4K029FA01 ,  4K029JA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 反射防止膜、光学部材、光学系及び投影露光装置、並びに反射防止膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-094723   出願人：株式会社ニコン