特許
J-GLOBAL ID：200903051232400020
基板の位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109871
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 矩形、又は円形の基板の端部を複数の基準ローラに当接させて位置決めする際、基板の基準ローラへの押圧力を小さくし、かつ確実な位置決めを達成するようにする。【構成】 位置決め用の基準ローラを準備位置と基準位置との2ケ所に変位するようにし、常時は準備位置に付勢するようにする。そして基板の当接によって準備位置から基準位置へ変位したとき、位置決め完了信号を出力するセンサーを設ける。
請求項（抜粋）：
位置決めすべき基板を載置する保持手段と、該保持手段の載置面に対して所定の位置関係で配置された複数の基準部材と、前記基板の端面部を前記複数の基準部材の夫々に当接させるように前記基板を押圧する押圧部材とを具え、前記基板を前記保持手段の載置面上で位置決めする装置において、前記基準部材の夫々を前記基板の位置決め時の当接方向に所定量だけ離れた第1位置と第2位置との間で変位可能に支持するとともに、所定の付勢力で前記第1位置側に付勢るす複数の可動部材と;前記押圧部材の動作によって前記基準部材の夫々が前記第1位置から第2位置に変位したときに検知信号を出力する複数の検出器と;該複数の検出器がいずれも前記検知信号を出力したとき、前記基板の位置決め完了を表わす信号を発生する判定回路とを備えたことを特徴とする基板の位置決め装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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