半導体装置及びその作製方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235632
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124685
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】非晶質半導体膜を加熱処理とレーザー光または紫外線、赤外線などの強光の照射により結晶化して得られる結晶質半導体膜の配向率を高め、そのような結晶質半導体膜で活性領域を形成した半導体装置及びその作製方法を提供することを目的とする。【解決手段】シリコンとゲルマニウムを成分とし、結晶構造を有する半導体膜であって、反射電子回折パターン法で検出される格子面の内、{101}面が占める割合が30%以上である半導体膜を、シリコン原子の水素化物またはフッ化物または塩化物によるガスを用い、繰り返し周波数10kHz以下、デューティー比50%以下の間欠放電またはパルス放電を用いたプラズマCVD法によりシリコンとゲルマニウムを成分とする非晶質半導体膜を形成し、その表面に該非晶質半導体膜の結晶化を助長する元素を導入し当該元素を利用して結晶化させて得る。

請求項（抜粋）：

シリコンに対するゲルマニウムの組成比が0.1原子%以上10原子%以下であり、多結晶構造を有する半導体膜であって、反射電子回折パターン法で検出される格子面の中で{101}面が占める割合が30%以上である半導体膜でチャネル形成領域が形成されている半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/20 , H01L 21/28 301 , H01L 21/322 , H01L 21/336

FI (8件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/20 , H01L 21/28 301 F , H01L 21/322 G , H01L 29/78 618 B , H01L 29/78 627 G , H01L 29/78 620

Fターム (140件)：

2H092JA24 , 2H092JA28 , 2H092JB57 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092MA08 , 2H092MA19 , 2H092MA29 , 2H092MA30 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA06 , 2H092RA05 , 2H092RA10 , 4M104AA01 , 4M104AA02 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB32 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD02 , 4M104DD20 , 4M104DD26 , 4M104DD78 , 4M104DD91 , 4M104EE03 , 4M104EE05 , 4M104EE09 , 4M104EE14 , 4M104EE17 , 4M104EE18 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 5C094AA21 , 5C094BA03 , 5C094BA29 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA14 , 5C094DA15 , 5C094DB04 , 5C094EB05 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5F052AA01 , 5F052AA02 , 5F052AA06 , 5F052AA11 , 5F052AA24 , 5F052BA01 , 5F052BA02 , 5F052BB02 , 5F052BB07 , 5F052CA04 , 5F052DA02 , 5F052DA03 , 5F052DB03 , 5F052EA15 , 5F052EA16 , 5F052FA19 , 5F052JA01 , 5F052JA04 , 5F110AA08 , 5F110AA09 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110BB05 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110EE01 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE29 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF04 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG13 , 5F110GG17 , 5F110GG25 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG45 , 5F110GG46 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HM15 , 5F110NN02 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN22 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110PP01 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110PP06 , 5F110PP10 , 5F110PP23 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ04 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5F110QQ23 , 5F110QQ24 , 5F110QQ28

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