特許

J-GLOBAL ID：200903051238895064

走査電子顕微鏡における偏向装置

発明者： 橋本 直己 ,  小笹 進
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285679
公開番号（公開出願番号）：特開平6-139982
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、低価格で誘導電流の影響をなくし、偏向磁場伝播の応答性をよくすることにある。【構成】真空中の電子銃1により電子ビーム2が放出され、収束絞り3を通過した後、筐体10内部において大気中に配置された偏向コイル4が発生する偏向磁場6により、導電性処理7を施したパイプ5によって、誘導電流8かつ電子9の帯電等の影響を受けずに応答性よく偏向磁場6の伝播を行い、電子ビーム2が偏向され試料室11に至るように構成される。

請求項（抜粋）：

電子銃からの電子ビームを大気中に配置した偏向コイルの偏向磁場により真空中で偏向させるための装置において、真空と大気を隔離するためのパイプはプラスチックの内面に化学メッキ等の導電性処理を施し、偏向コイルの偏向磁場を応答よく真空中に伝播させると同時に真空中の内面が電子ビームによる帯電を生じないように構成したことを特徴とした走査電子顕微鏡における偏向装置。