特許

J-GLOBAL ID：200903051249795681

薄板材浸漬装置

発明者： 新原 薫 ,  倉田 康弘 ,  澤村 雅視
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142028
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008220
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 液槽中から薄板材収納部を引き上げる際に薄板材同士の密着状態が続くことを防止する。【構成】 水中ローダ1は、多数のウエハWを上下多段に収納し、かつウエハWを出し入れするための開口13を有するカセットCを液体中に浸漬するものであって、水槽11とカセット昇降装置12と純水供給ヘッド35とを備えている。水槽11は、内部に純水を貯留し、カセットCを液体中に浸漬する。カセット昇降装置12は、カセットCを水槽11内で昇降動作させる。純水供給ヘッド35は、水平に間隔を隔てて配置された1対のスプレーノズル36を有し、水槽11の液面より上方において、カセットCの開口方向に純水を供給する。

請求項（抜粋）：

多数の薄板材を上下多段に収納し、かつ前記薄板材を出し入れするための開口を有する薄板材収納部を液体中に浸漬する薄板材浸漬装置であって、内部に液体を貯留し、前記薄板材収納部を液体中に浸漬するための液槽と、前記薄板材収納部を前記液槽内で上下動作させるための移動手段と、前記液槽の液面より上方において、前記薄板材収納部の開口方向に液体を供給する液体供給手段と、を備えた薄板材供給装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B65G 49/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-128834
  
• 特開平4-215878
  
• 特開昭57-083036