特許

J-GLOBAL ID：200903051250080254

洗浄槽

発明者： 林 達也 ,  泥谷 慎司
出願人/特許権者： 三菱樹脂株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345651
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168073
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 生産性が高く、かつ、金属の溶出の少ないウェーハ用洗浄槽を提供することを目的とする。【解決手段】 ノルボルネン系モノマーの塊状重合体から成形する。

請求項（抜粋）：

ノルボルネン系モノマーの塊状重合体を成形してなる洗浄槽。