FeCo系ターゲット材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：椎名彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-128224
公開番号（公開出願番号）：特開2007-297688
出願日： 2006年05月02日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

【課題】軟磁性薄膜を形成するためのFeCo系ターゲット材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 FeCo系合金において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がF:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加したことを特徴とするFeCo系ターゲット材およびその製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

FeCo系合金において、原料粉末のFeとCoの質量比がFe:Co=8:2〜7:3である原料粉末Aと、同じく質量比がFe:Co=2:8〜0:10なる原料粉末Bとを用いて、質量比がFe:Co=8:2〜2:8となるように原料粉末Aおよび原料粉末Bを混合し、かつ原料粉末Aと原料粉末Bの一方または両方に、Nb,Zr,TaおよびHfの1種または2種以上を原料粉末Aと原料粉末Bの混合状態で合計3〜15at%となるように添加したことを特徴とするFeCo系ターゲット材。

IPC (7件)：

C22C 38/00 , C22C 19/07 , B22F 1/00 , B22F 3/14 , B22F 3/15 , C23C 14/34 , H01F 10/16

FI (10件)：

C22C38/00 303S , C22C38/00 304 , C22C19/07 C , B22F1/00 J , B22F3/14 D , B22F3/15 M , C23C14/34 A , H01F10/16 , B22F1/00 T , B22F1/00 M

Fターム (21件)：

4K018AA10 , 4K018AA25 , 4K018BA04 , 4K018BA13 , 4K018BC12 , 4K018EA02 , 4K018EA13 , 4K018KA29 , 4K018KA43 , 4K029BA24 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC08 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049BA06

引用特許：

出願人引用 (1件)

Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-100406 出願人：日立金属株式会社

審査官引用 (4件)

特開平4-139707
軟磁性薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-234548 出願人：川崎製鉄株式会社
Fe-Co基合金ターゲット材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-086852 出願人：日立金属株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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