特許

J-GLOBAL ID：200903051263348574

金属酸化物膜およびその形成方法

発明者： 宮島 欣幸 ,  藤 寛 ,  広兼 順司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242443
公開番号（公開出願番号）：特開2009-076253
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】導電性が良好な金属酸化物膜およびこれを簡便な方法で形成できる金属酸化物膜の形成方法を提供すること。【解決手段】基板1上に金属酸化物の結晶粒が結晶成長してなる結晶膜2と、該結晶膜2内に分散した導電性ファイバ3とを有してなることを特徴とする金属酸化物膜。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に金属酸化物の結晶粒が結晶成長してなる結晶膜と、該結晶膜内に分散した複数の導電性ファイバとを有してなることを特徴とする金属酸化物膜。

IPC (2件)：

H01B 5/14 ,  H01B 13/00

FI (2件)：

H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B

Fターム (10件)：

5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FB04 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BA05 ,  5G323BB01 ,  5G323BB02 ,  5G323BB06 ,  5G323BC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 透明導電膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-236777   出願人：セントラル硝子株式会社