特許
J-GLOBAL ID：200903051275009848
レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283781
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 2台の発振器のうち1台が故障しても全体の出力低下を少なくする。【構成】 2台の発振器1、2の出力を合成器10で合成し、ビームスプリッタ11〜13及び全反射器14を介してN列の増巾器5a〜5c、6a〜6c、7a〜7c、8a〜8cに均等に分配する。【効果】 1台の発振器が故障しても、残りの1台の発振器の出力を各増巾器に均等に分配するので、増巾器の入力が半分になっても全体の出力低下を発振器1台の出力分だけに抑えることができる。
請求項（抜粋）：
パルス状の第1のレーザビームを発振する第1の発振器、パルス状の第2のレーザービームを発振する第2の発振器、上記第1のレーザビームを全反射する第1の全反射器、この第1の全反射器で全反射した上記第1のレーザビームと上記第2のレーザビームとを合成し、第3のレーザビームとして出力する合成器、N列配列した所定の引き出し能力を有する増巾器、1列目から(N-1)列目までの上記各増巾器と対応して順次配置され、上記第3のレーザビームを1/N ずつ1列目から(N-1)列目までの上記各増巾器に均等に分配する(N-1)個のビームスプリッタ、このビームスプリッタの(N-1)個の次に配置した上記増巾器と対応して配置され、(N-1)個目の上記ビームスプリッタを通過した上記第3のビームを全反射する第2の全反射器を備えたレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 A
, H01S 3/02 Z
