特許

J-GLOBAL ID：200903051278959219

補償体相互接続構造およびその製造方法

発明者： クリシナ・ガンディー・サクデフ ,  ベネディクト・マリア・ヨハネス・ケルナー ,  キャスリーン・メアリー・マクガイア ,  ピーター・ジェローム・ソース
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239163
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218603
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 改良された寸法安定性および電気的性能を有する多層薄膜相互接続構造のための構造およびその方法を提供する。【構成】 補償体と称される個々の薄膜構造(50,50′)は、接地面/基準面として、かつ、寸法的一体性に関する安定化手段として機能する。補償体は開口部を有する金属シート(11)と、金属シートを被覆する絶縁体としての高温安定ポリマ(21,25)と、開口部に形成されたバイア金属スタッド41とからなる。

請求項（抜粋）：

多層薄膜構造を形成するのに用いる補償体相互接続構造にして、前記補償体は少なくとも1つの開口部を有する金属層と、前記金属層を同形に被覆するポリマ層と、前記開口部に設けられた少なくとも1つのバイア金属スタッドとを有することを特徴とする、補償体相互接続構造。

IPC (3件)：

H05K 1/05 ,  H01L 21/90 ,  H05K 3/46

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-224391
  
• 特開平1-091489
  
• 特開昭62-250689
  
• 特開昭62-216287