特許

J-GLOBAL ID：200903051279288768

真空パッケージ用のゲッターの付着

発明者： ディーキャンプ,ジョン・ビー ,  コランド,リサ・ピー ,  グレン,マックス・シー ,  カーティス,ハーラン・エル
出願人/特許権者： ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  西山 文俊
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-513405
公開番号（公開出願番号）：特表2007-537040
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】 真空下で密封した装置受け入れキャビティ即ちチャンバ(12、14)の内側表面に付着した薄膜ゲッター(30)を含む、装置パッケージ(10)を提供する。【解決手段】 薄膜ゲッターは、例えば、スパッタリング、抵抗加熱蒸着、電子ビーム加熱蒸着、又は任意の他の適当な付着技術を使用して付着される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

装置用パッケージにおいて、 装置キャビティを形成する一つ又はそれ以上の壁と、 前記一つ又はそれ以上の壁に直接付着したゲッターとを含む、パッケージ。

IPC (2件)：

B01J 3/00 ,  H01L 23/26

FI (2件)：

B01J3/00 K ,  H01L23/26

Fターム (26件)：

3C081AA03 ,  3C081BA30 ,  3C081CA26 ,  3C081DA41 ,  3C081EA02 ,  3E067AA11 ,  3E067AB41 ,  3E067AC01 ,  3E067BA01A ,  3E067BC07A ,  3E067CA04 ,  3E067EA32 ,  3E067EE28 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GA15 ,  3E096BA08 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC01 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA10X ,  3E096FA03 ,  3E096FA22 ,  3E096GA03