特許

J-GLOBAL ID：200903051281465499

測定装置

発明者： 清野 慧
出願人/特許権者： 清野 慧
代理人 (2件)： 田村 敬二郎 ,  小林 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-131895
公開番号（公開出願番号）：特開2009-281768
出願日： 2008年05月20日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

【課題】長尺の断面直線形状や面形状の測定における水準器と多点法の利点だけを有効に使い、大面積の被測定面を迅速に高精度に測定できる測定装置を提供する。【解決手段】被測定試料の置かれたステージと多点法プローブを保持するセンサホルダが互いに相対的に移動をして直線形状を走査測定する装置において、移動する側のセンサホルダまたはステージの走査方向の傾斜角を測定することの出来る水準器を備えていて、前記水準器によって走査移動の開始点と終了点での前記移動側物体の傾斜を測定することで、多点法プローブのゼロ点調整誤差をその場校正する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定試料の置かれたステージと多点法プローブを保持するセンサホルダが互いに相対的に移動をして直線形状を走査測定する装置において、移動する側のセンサホルダまたはステージ(以後移動側物体と呼ぶ)の走査方向の傾斜角を測定することの出来る水準器を備えていて、前記水準器によって走査移動の開始点と終了点での前記移動側物体の傾斜を測定することで、多点法プローブのゼロ点調整誤差をその場校正することを特徴とする測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/00 ,  G01B 21/00

FI (2件)：

G01B5/00 P ,  G01B21/00 E

Fターム (21件)：

2F062AA02 ,  2F062AA71 ,  2F062DD21 ,  2F062DD26 ,  2F062EE01 ,  2F062EE66 ,  2F062GG81 ,  2F062HH05 ,  2F062MM02 ,  2F069AA04 ,  2F069AA71 ,  2F069FF01 ,  2F069GG01 ,  2F069GG56 ,  2F069GG63 ,  2F069GG64 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ19 ,  2F069MM02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 測定装置、測定基準及び精密工作機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-231631   出願人：清野慧