特許
J-GLOBAL ID：200903051283185183
磁気ヘッドおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145301
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006340
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 電気的絶縁性、耐摩耗性、潤滑性、密着性、化学的耐久性に優れ、高密度磁気記録技術に必要な100A以下の膜厚の保護膜を有するMRヘッドを提供する。【構成】 スライダおよびスライダ上に形成された磁気抵抗素子とからなる磁気ヘッドにおいて、該スライダの摺動面および該磁気抵抗素子上に保護膜を設けることを特徴とする磁気ヘッドであって、該保護膜が硬質炭素あるいはケイ素、ホウ素、チタン、アルミニウムおよびこれらの炭化物、窒化物、酸化物の中から選ばれる、少なくとも1種類以上からなる中間層と、該中間層上に形成された硬質非晶質炭素膜とからなる磁気ヘッドと、該中間層をスパッタ法で形成し、該硬質非晶質炭素膜を科学的気相堆積法で形成することを特徴とする磁気ヘッド製造方法。
請求項（抜粋）：
スライダおよびスライダ上に形成された磁気抵抗素子とからなる磁気ヘッドにおいて、該スライダの摺動面および該磁気抵抗素子上に保護膜を設けることを特徴とする磁気ヘッドであって、該保護膜が硬質炭素あるいはケイ素、ホウ素、チタン、アルミニウムおよびこれらの炭化物、窒化物、酸化物の中から選ばれる、少なくとも1種類以上からなる中間層と、該中間層上に形成された硬質非晶質炭素膜とからなる磁気ヘッド。
IPC (3件)：
G11B 5/60
, G11B 5/31
, G11B 5/39
