特許
J-GLOBAL ID：200903051287985877
測長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320822
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151518
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 被測定物における測長を高い測定精度及び高い再現性で実行することができる信頼性の高い測長装置を提供すること。【構成】 可動ステージ30と、被測定物搬送機構40と、共焦点型光学顕微鏡50と、演算手段60と、表示手段70,80と、制御手段90とを有してなる測長装置であって、前記共焦点型光学顕微鏡50は、結像レンズと対物レンズとの間の光路上に配置される四分の一波長板を、基準光軸に対して傾斜するよう配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも前後・左右方向(X・Y軸方向)及び高さ方向(Z軸方向)の移動が可能な可動ステージと、被測定物を搬送して前記可動ステージ上に載置する被測定物搬送機構と、前記可動ステージ上に載置された被測定物の部分拡大像を受像する光学顕微鏡と、当該光学顕微鏡によって受像された被測定物の部分拡大像に基いて、被測定物の構成部分又は当該構成部分間の長さを算出する演算手段と、前記光学顕微鏡が受像した被測定物の部分拡大像、および前記演算手段によって算出された測定結果を表示する表示手段と、予め設定された測定条件に従って、前記可動ステージ、前記被測定物搬送機構、前記光学顕微鏡、前記演算手段および前記表示手段を制御する制御手段とを有してなり、前記光学顕微鏡は、1個又は複数個のピンホールを有する絞り板と、この絞り板の一面にスポット光を照射するための光源と、前記絞り板の一面に照射する光を偏光させる第1の偏光子と、前記絞り板の他面側において、被測定物に近接して配置された対物レンズと、前記対物レンズと合わせて使用し、被測定物の部分拡大像を前記絞り板上に結像させるよう、前記絞り板と前記対物レンズとの間の光路上に配置された結像レンズと、この結像レンズと前記対物レンズとの間の光路上に配置された四分の一波長板と、前記絞り板の一面側において、前記第1の偏光子と前記四分の一波長板との間の光路上に配置された偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタを通過する前記被測定物からの反射光を受光して当該被測定物の部分拡大像を受像する受像手段と、前記偏光ビームスプリッタと前記受像手段との間の光路上に配置された第2の偏光子とを有し、前記四分の一波長板は、その表面における法線が、前記対物レンズと前記結像レンズとがなす光軸に対して傾斜するように配置されている共焦点型光学顕微鏡であることを特徴とする測長装置。
IPC (2件)：
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