特許

J-GLOBAL ID：200903051290040239

ファンフィルタユニット

発明者： 坂井 高正 ,  野田 憲治 ,  岩本 庄治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-255819
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066235
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】 薄肉で強度の高いプレフィルタを形成することで、ファンフィルタユニットの小型化を図ることができる。【解決手段】ファンフィルタユニット41は第1のフィルタ部51、ファン52、第2のフィルタ部53により構成される。第2のフィルタ部53のプレフィルタ58は、そのフィルタエレメント583がフォトリソ法にて多数の微細な孔583aが製造され、フィルタ本体581の周縁には、フィルタ本体581を折り曲げ立設し形成された補強部582を有し構成される。よって、プレフィルタ58は、薄肉であっても補強部582により充分な剛性を有し、良好な整流作用を維持することができる。

請求項（抜粋）：

空間内部の清浄度を制御するためのファンフィルタユニットであって、外気を内部に取り入れるための上流側開口部と排出するための下流側開口部をもつ枠体と、前記上流側開口部に外気を吸引する吸引手段と、前記吸引手段の少なくとも一方面側に位置するように前記枠体内に支持され、平面部に多数の微細な孔を開けた金属薄板製のプレフィルタと、前記プレフィルタを流通する気流の下流側に収納して、前記枠体によって支持されるメインフィルタと、を具備することを特徴とするファンフィルタユニット。

IPC (6件)：

B01D 46/00 ,  B01D 39/14 ,  B01D 39/20 ,  F24F 7/00 ,  F24F 7/06 ,  B01J 20/20

FI (7件)：

B01D 46/00 F ,  B01D 39/14 P ,  B01D 39/20 A ,  F24F 7/00 A ,  F24F 7/06 C ,  B01J 20/20 D ,  B01J 20/20 F

Fターム (32件)：

3L058BG03 ,  4D019AA01 ,  4D019BA02 ,  4D019BB02 ,  4D019BB09 ,  4D019BC05 ,  4D019BD01 ,  4D019CA01 ,  4D019CA02 ,  4D019CB03 ,  4D019CB06 ,  4D058JA12 ,  4D058JA14 ,  4D058JB03 ,  4D058KB11 ,  4D058QA01 ,  4D058QA03 ,  4D058QA11 ,  4D058QA21 ,  4D058SA04 ,  4D058TA02 ,  4G066AA04C ,  4G066AA50B ,  4G066AE01B ,  4G066BA07 ,  4G066BA16 ,  4G066CA08 ,  4G066CA27 ,  4G066CA29 ,  4G066DA03 ,  4G066FA15 ,  4G066FA25