特許

J-GLOBAL ID：200903051292526627

インピーダンス測定方法

発明者： 斉藤 務
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334910
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172876
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 測定系による誤差を常に含まないインピーダンスを求める。【構成】 被測定物7のインピーダンスZ’を求める。次に、被測定物7の代わりに、抵抗値Rが基準抵抗4の抵抗値Rs と等しい補正用抵抗を接続し、同じ測定系を用いて、電流-電圧変換器4の変換電圧Voc2 ,電圧検出器3の検出電圧Vop2 を測定器6で測定する。すると、K=Vop2 /Voc2 が求まるので、このKの逆数をインピーダンスZ’x に乗じることにより、測定系による誤差を含まないインピーダンスZx が求まる。

請求項（抜粋）：

被測定物を流れる電流を電流-電圧変換器で電圧(Voc1 )に変換し、一方前記被測定物の両端間の電圧(Vop1 )を電圧検出器で測定し、被測定物のインピーダンスZ’x =(Vop1 /Voc1 )・RS (RS は前記電流-電圧変換器の基準抵抗の抵抗値)を求め、前記基準抵抗と抵抗値が同じ補正用抵抗を前記被測定物の代りに接続して、該抵抗を流れる電流を前記電流-電圧変換器と同じ電流-電圧変換器で電圧(Voc2 )に変換し、一方該補正用抵抗の両端の電圧(Vop2 )を前記電圧検出器と同じ電圧検出器で測定し、前記インピーダンスZ’に(1/K)(ただし、K=Vop2 /Voc2 )を乗じて前記被測定物のインピーダンスZを得る、インピーダンス測定方法。